Camera Pulita

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Informazioni tecniche


La Camera Pulita è un laboratorio della Sezione di Perugia dell' INFN, sviluppato in collaborazione con il Dipartimento.
È composta da due unità adiacenti: la camera pulita "A" e la camera pulita "B", collegate fra di loro tramite una porta automatica. Questa configurazione permette di operare alle due unità sia in maniera indipendente (diverse impostazioni di temperatura ed umidità), sia come un ambiente unico, a seconda delle esigenze specifiche.
 
      CAMERA PULITA "A"     CAMERA PULITA "B"
Classe di purezza:     ISO 4 (FED 209D M 5,5)     ISO 2 (FED 209D M 3,5)
Intervallo di temperatura:     ± 1°C     ± 1°C
Intervallo di umidità:     ± 5%     ± 5%
Flusso laminare:     M 3,5 n° 4-dim 120x60 cm     M 3,5 n° 1-dim 200x60 cm

 
CleanRoom foto1  CleanRoom foto2
 

Attrezzature principali

    Bilancia
    Bonding Delvotec
    Camalot
    Cappa
    Gantry
    Forno
    Kulicke Soffa
    Ladder
    Microscopi
    Mitutoyo BHN506
    Mitutoyo 776
    PA 200
    Sigillatrice vuoto
    Silicon Survey
    Stazione test Kapton
    Strumenti Keithley
    Vasca ultrasuoni

 

Documentazione (Norme generali)

    Autorizzazione 675.96 Vers.1
    Dichiarazione Sicurezza
    Norme comportamentali Camera Bianca o Pulita
    Norme di sicurezza e comportamentali Camera Bianca

 

Note

    L'esperienza per la progettazione, realizzazione e gestione della Camera Pulita dell' INFN presso il Dipartimento di Fisica è stata fondamentale per la realizzazione del Laboratorio SERMS di Terni.